精密機械製造および関連装置
被処理基板が急速に大きくなる中、常に限界への挑戦をしております。
枚葉式、ﾃﾞｨｯﾌﾟ式、TFTアレイ工程用のアイターン式、ユーターン式等、お客様のﾆｰｽﾞを確実に形に致します。弊社独自の経験と技術を提供致します。
洗浄装置としては、
受入洗浄、ｶﾚｯﾄ除去洗浄、成膜前洗浄、研磨後洗浄、封止用ｶﾞﾗｽ洗浄、出荷前洗浄、PI前洗浄、ﾗﾋﾞﾝｸﾞ後、素ｶﾞﾗｽ洗浄、ﾌｨﾙﾑ洗浄等、対応致します。
現像・ｴｯﾁﾝｸﾞ・剥離装置では、
基板上のITO、Cr、Al、ﾘﾌﾞ、絶縁体などの処理が可能です。
洗浄装置・現像装置・エッチング装置・剥離装置
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搬送装置、IR/UV/CP、塗布装置、露光装置、焼成炉等
用途に合わせて提案し、ライン化等、対応致します。
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