太陽電池製造ライン
エバテックでは
現在、FPD業界で培った技術を生かし、「太陽電池製造ライン」に力を注いでおります。
Si結晶ウェーハライン・セルライン・Si薄膜セルライン・モジュールライン、それぞれの設備と技術をご希望の生産能力や工場レイアウトに合わせて、提供致します。
Si結晶ラインにおいては主に、洗浄・テキスチャーエッチング装置、塗布拡散装置、拡散炉、PSGエッチング、CVD製膜装置、移載装置、検査装置、等を提案致します。
またSi薄膜ラインにおいては、受入洗浄装置、レーザースクライブ装置、 レーザースクライブ後洗浄装置、PE-CVD、スパッタ、搬送系、等を提案致します。
Si結晶ウェーハライン・セルライン・Si薄膜セルライン・モジュールライン 設備
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